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Optische Miniatur Abstandssensoren confocalDT 2402
Abbildung Produktfamilie
Einordnung
Produktklasse:
Konfokale Weißlichtsensoren
Integrationslevel:
System
Anbieter
weiter MICRO-EPSILON MESSTECHNIK GmbH & Co. KG
Produktverschlagwortung
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Produktbeschreibung
Funktionsumfang:
Die berührungslosen optischen Miniatur Abstandssensoren confocalDT 2402 arbeiten nach dem Prinzip der konfokal-chromatischen Abstandsmessung. Sie sind in sieben Produktvarianten mit festen Messbereichen von 400 µm-6,5 mm erhältlich. Es sind Messraten von 0,1-70 kHz einstellbar. Das Licht einer LED- oder Xenon-Lichtquelle wird über Lichtleiter und eine Optik in einen sehr kleinen Messfleck auf der Messobjektoberfläche gebündelt, der je nach Messbereich einen Durchmesser zwischen 10-100 µm hat. Die miniaturisierte Bauform mit einem Titangehäuse von nur 4 mm Durchmesser ermöglicht die Messung in engen Vertiefungen. Drei Produktvarianten mit integrierter 90°-Strahlablenkung erlauben die Erkennung von Wandstrukturen mit Auflösungen im Nanometerbereich. Das vom Messfleck reflektierte Licht wird vom Sensor empfangen und im Controller ausgewertet.
Die errechneten Werte werden über Ethernet, EtherCAT, RS 422 oder analog ausgegeben. Lichtquelle und Empfangsoptik sind in einer Achse angeordnet, was Abschattungseffekte weitgehend vermeidet. Dadurch eignet sich das System zur Messung auch in Bohrungen und Spalten. Es erlaubt die Messung von Abständen mit sehr hoher Präzision bei einer Reproduzierbarkeit von 0,08 % des Messbereichs, insbesondere bei spiegelnden oder transparenten Oberflächen. Auch eine einseitige Dickenmessung von transparenten Materialien ist möglich, wobei dann die Reflektionen beider Materialübergänge ausgewertet werden
Einsatzbereich:
Die berührungslosen optischen Miniatur Abstandssensoren confocalDT 2402 messen hochpräzise Abstände zu diffusen und auch spiegelnden oder transparenten Oberflächen in axialer und radialer Richtung. Die einseitige Dickenmessung von transparenten Materialien ist eine Eigenheit dieses Prinzips. Anwendungen sind Messungen in Spalten und Bohrungen, die Schichtdickenmessung transparenter Materialien, die Vermessung von Oberflächenkonturen und der Oberflächentopographie sowie Messungen von Flüssigkeitspegeln. Eingesetzt werden die Messsysteme im Maschinenbau für die Halbleiter- und Elektronikindustrie, in der Glasindustrie sowie im Labor- und Forschungsbereich.
Produktmerkmale:
- Miniatur-Abstandssensor nach dem konfokal-chromatischen Messprinzip
- Titan-Sensorgehäuse mit 4 mm Durchmesser
- Produktvarianten mit axialer und radialer Messrichtung
- Messbereich: 400 µm-6,5 mm
- Grundabstand Messbereichsanfang: ca. 0,9-3,5 mm
- Lichtfleckdurchmesser: 10-100 µm
- Linearität: bei Diffusreflexion kleiner/gleich +/-0,2 % des Messbereichs, Direktreflexion kleiner/gleich +/-0,08 % des Messbereichs
- Reproduzierbarkeit: 0,01 % des Messbereichs
- Messrate: 0,1-70 kHz (einstellbar)
- Langzeitstabilität Sensor: +/-0,02 % des Messbereichs/Monat
- Lichtquelle: LED / Xenon-Lichtquelle
- Konfiguration über Web-Browser
- Schnittstellen: Ethernet, EtherCAT, RS 422 oder analog
- Digitale Ausgänge: 2 x 0-10 V
- Sensorkabel (Lichtwellenleiter): Standard 2 m, optional bis 50 m
Anwendungsmöglichkeiten
weiter Abstandsmessung, weiter Dickenmessung