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Thermografie-Prüfanlage zur Elektronik- und Halbleitermodulprüfung
Abbildung Funktionsprinzip
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Funktionsprinzip
Bei der zerstörungsfreien Prüfung mittels Thermografie wird durch Differenzen in der Wärmeausstrahlung oder Wärmeausbreitung des Prüfobjekts ein Rückschluss auf dessen Fehlerfreiheit vorgenommen. Hierzu wird die von dem angeregten Prüfobjekt abgegebene Infrarotstrahlung durch eine Thermografiekamera mit einer bestimmten Frequenz und Auflösung aufgezeichnet und die Messergebnisse werden an eine Auswerteeinheit weitergegeben. Das Thermografie-Prüfsystem E-LIT wendet das Verfahren der aktiven Thermografie mit einer elektrischen Anregung an, das heißt, es wird durch eine externe Anregung dem Prüfobjekt Energie zugeführt, wodurch sich dieses erwärmt. Die elektrischen Anregungseinheiten werden aus dem System parametriert und direkt synchron angesteuert. Die in der Messzelle integrierte Thermografiekamera zeichnet daraufhin die Temperaturentwicklung auf. Sogar Fehler, die lediglich mK- oder µK-Abweichungen hervorrufen, können detektiert werden.