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Anlagen zur Helium-Dichtheitsprüfung und Leckortung
Abbildung Funktionsprinzip
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Funktionsprinzip
Das Grundprinzip der Helium-Dichtheitsprüfung ist der Nachweis von Helium als Spurgas, das aus dem Bauteil austritt oder in das Bauteil eindringt. Hierfür wird der Prüfling manuell oder mit einer automatischen Beschickung an die werkstückspezifischen Adaptier- und Dichtwerkzeuge angeschlossen und die Prüfkammer geschlossen.
Bei der Prüfung mit einem Helium-Massespektrometer werden die Vakuum-Prüfkammer und der Prüfling evakuiert und anschließend der Prüfling mit Helium oder einem Heliumgemisch beaufschlagt. Nach dem Erreichen eines bestimmten Vakuums wird das Massenspektrometer zugeschaltet, das die austretenden Heliumatome detektiert, was die Erkennung von geringen Leckraten bis zu 10-7 mbar l/s ermöglicht.
Die Prüfung bei Atmosphärendruck wird mit einem wartungsfreien Heliumsensor durchgeführt. Der Prüfling wird mit Heliumdruck beaufschlagt und in der umgebenden Prüfkammer wird mit einem Ventilator oder einer Luftumwälzung eine homogene Luftverteilung hergestellt. Wenn durch ein Leck Helium austritt und nach einer gewissen Zeit die gemessene Heliumkonzentration in der Prüfkammer über den natürlichen Heliumgehalt der Luft von 5 ppm ansteigt, können mit diesem Verfahren Leckraten von bis zu 10-5 mbar l/s gemessen werden.