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Helium Dichtheitsprüfstand mit schnellwechselbaren Prüfkammern
Abbildung Funktionsprinzip
Produktfamilien-Verschlagwortung
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Funktionsprinzip
Alle erforderlichen bauteilspezifischen Prüfkammern mit dem connec Schnellanschluss-System sind auf einem Ringtisch angeordnet. Bei einem Produktwechsel werden die Anschlüsse der Vakuumpumpe, des Heliummassenspektrometers sowie die gesteckten elektrischen und pneumatischen Verbindungen an der Prüfkammer gelöst und der Ringtisch manuell gedreht, bis sich die gewünschte passende produktspezifische Prüfkammer für das neue Produkt in der Beladeposition befindet. Die pneumatischen und elektrischen Verbindungen werden nun wieder angeschlossen. Die Prüfkammer wird automatisch von der Steuerung erkannt und das zugehörige Prüfprogramm geladen. Dann kann die Prüfung beginnen. Durch diese Anordnung entfällt die zeitaufwendige Demontage, Abtransport der Prüfkammer, Holen der neuen Prüfkammer und Montage dieser Prüfkammern.
Das Grundprinzip der Helium-Dichtheitsprüfung ist der Nachweis von Helium als Spurgas, das aus dem Bauteil austritt. Durch die Erfassung der Helium-Konzentration sowohl am Eingang als auch am Ausgang des Prüflings durch zwei getrennte Sensoren wird die Zuverlässigkeit und Genauigkeit der Messung zusätzlich erhöht. Die Messung findet in einer Prüfkammer statt, die evakuiert wird. Alle Spurgas-Moleküle, die durch Lecks austreten, werden mit einem Massenspektrometer detektiert. Die daraus errechnete Leckrate wird mit dem vorgegeben Sollwert verglichen und daraufhin von der Auswertung ein Prüfentscheid gefällt.